ULVAC真空計是基于在真空領域的豐富技術和經驗而開發(fā)的。 從皮拉尼真空計到電離真空計,再到極高真空計,從大氣壓到極高真空計(10-12我們擁有適用于PA所有領域、條件和應用的真空計產品陣容。
AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による殘留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。
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